高性能場發射槍電子顯微鏡日趨普及和應用

發布時間:2017-07-22 10:36:52 文章分類： 點擊數：

高性能場發射槍電子顯微鏡日趨普及和應用

 

在這里對于場發射槍電子顯微鏡來說則需要能夠提供高

亮度，高相干性的電子光源，因而能夠在原子納米尺度

上對材料的原子排列與種類進行綜合的分析。

 

在全世界上場發射槍電子顯微鏡只的幾十臺，現在則有

上千臺了，而目前我國的場發射槍電子顯微鏡則只有上

百臺而以。

 

在這里場發射槍電子顯微鏡常規的熱鎢燈絲槍掃描電子

顯微鏡，分辨率則最高只能夠達到三厘米，而新一代的

場發射槍電子顯微鏡分辨可以優于一厘米。

 

越高分辨率的掃描電鏡它的分辨率可以高達零點五到零

點四厘米，其環境掃描電子顯微鏡就可以做到，樣品可

以在百分之百的濕度下進行觀察。