微系統與微電子元件相比

發布時間:2020-03-17 13:09:12 文章分類： 點擊數：

微系統與微電子元件相比

 

如果我們把微系統與微電子元件進行相比，則對于微系

統來說則具有一個明顯的三維結構，對于這種結構則就

是使用微注模技術制造的微光譜儀。

 

但是對于經典的微系統的微機電系統結構來說，則特別

是對于傳感器和反射鏡系統在本質來說則是一個二維的。

 

因此對于這一特征則主要是采用半導體材料和相對應的

制造工藝微機系統的一個結果，因此在基于微機電系統

的產品來說則它的顯著特征則就普遍采用混合結構。

 

對于微系統與微電子元件兩個性質均可以影響到圖像的

處理與計算機的視覺對實現微機電系統的測試同樣有影

響。