微機電系統研發與制造階段電氣特性與動態特性

發布時間:2020-03-13 14:18:38 文章分類： 點擊數：

微機電系統研發與制造階段電氣特性與動態特性

 

對于微機電系統研發與制造階段電氣特性與動態特性則

是在整個階段進行的一個制造特征特性。

 

因此對于測定這些系統的方法就變的非常有必要了，而

如何進行測定這些系統則就需要借助于測試的方法了。

 

在這里我們可以對其進行評價出微系統以及元件的一個

靜態特征，如對尺寸或是形態、方向與表面特征進行評

價。

 

這主要是利用基于圖像處理技術與計算機的光學測試技

術方法，這樣一來就可以把它應用于眾多的步驟中進行

快速的非接觸式的記錄下這些特征。