掃描電子顯微鏡的主要性能指標

發布時間:2019-05-11 10:11:31 文章分類： 點擊數：

掃描電子顯微鏡的主要性能指標

 

在這里我們則主要說的是掃描電子的分辨本領與放大率

，通常情況下對于掃描電子顯微鏡主要性能指標來說則

包括了上面所說的兩個外。

 

還有就是加速電壓與衍射相機長度以及自動化程度所具

備有的一個功能等等。

 

因此對于掃描電子顯微鏡分辨本領來說則就是分辨率，

則點分辨率與線分辨率這三種，從電子圖像上能夠進行

分辨出的相鄰兩個點在試樣上的距離則就是點分辨率。

 

而如果在電子圖片上分辨出最小晶體面間的距離，則就

是線分辨率與晶格分辨率，對于放大率來說則是指電子

圖像相對于試樣表面的一個線性放大倍數。