光波干涉法與感觸法

發(fā)布時(shí)間:2018-03-30 09:16:13 文章分類： 點(diǎn)擊數(shù)：

光波干涉法與感觸法

 

在這里我們所說(shuō)的光波干涉法，則是指光波干涉法利用光

波干涉顯微鏡與多光束干涉顯微鏡進(jìn)行使用的一種方法。

 

同時(shí)在對(duì)光波干涉顯微鏡最大的優(yōu)點(diǎn)來(lái)說(shuō)則就是用來(lái)進(jìn)行

測(cè)量精度高，同時(shí)還可以把所測(cè)量的精度高達(dá)0.001微米

到0.003微米。

 

但是對(duì)于光波干涉的使用與對(duì)光波干涉的調(diào)整是非常困難

的，不如光束顯微鏡應(yīng)用的范圍廣泛。

 

而對(duì)于感觸法來(lái)說(shuō)則是一個(gè)可以利用觸針?lè)椒ㄖ苯釉谒?/p>

要檢測(cè)的工件表面上輕輕的進(jìn)行劃過(guò)，這樣就可以測(cè)定表

面粗糙度的值了。