電子光學(xué)系統(tǒng)

發(fā)布時(shí)間:2018-03-17 10:13:16 文章分類： 點(diǎn)擊數(shù)：

電子光學(xué)系統(tǒng)

 

通常情況下對(duì)于掃描電鏡的結(jié)構(gòu)則是由電子光學(xué)系統(tǒng)

與掃描系統(tǒng)以及信號(hào)的檢測(cè)系統(tǒng)和圖像的顯示與記錄

系統(tǒng)以及真空、電源系統(tǒng)組合而成的一個(gè)顯微掃描檢

測(cè)分析研究的儀器。

 

因此我們?cè)谶@里可以說掃描電鏡的電子光學(xué)系統(tǒng)則是

由電子槍與電磁聚光鏡組成的，對(duì)于光學(xué)系統(tǒng)來(lái)說則

是不能夠用來(lái)進(jìn)行成像處理的。

 

因此這時(shí)就需要使用可以獲得一個(gè)高能量的細(xì)聚焦的

電子束進(jìn)行對(duì)樣品標(biāo)本表面進(jìn)行穿透，而這時(shí)就會(huì)產(chǎn)

生各種信息的激發(fā)光源。

 

而在掃描樣品標(biāo)本時(shí)所使用的電子槍的作用來(lái)說，則

我們可以說是一個(gè)可以提供連續(xù)性不斷的同時(shí)還是穩(wěn)

定性的電子能源，而這就會(huì)形成電子束。