剪切干涉技術與顯微干涉技術

發布時間:2018-01-11 11:24:20 文章分類： 點擊數：

剪切干涉技術與顯微干涉技術

 

由于顯示重建計算法，由相位差分得到的粗糙度輪廓

，粗糙度測量的結果，比較粗糙度樣板稱值則顯示比

較好的測量精度。

 

結合剪切干涉技術與顯微干涉技術提出了一種新的非

接觸表面粗糙度測量的方法。

 

由于干涉與非接觸表面粗糙度輪廓測量的方法，和共

路偏振干涉的特點，以及新型的剪切發生器的采用。

 

建干涉儀器工具有較好的抗環境干涉和振動的能力，

同時能夠取得一般顯微干涉儀的表面粗糙度測量精度。