表面粗糙度的測量方法

發(fā)布時間:2017-12-08 10:59:04 文章分類： 點擊數(shù)：

表面粗糙度的測量方法

 

現(xiàn)在所存在的表面粗糙度測量方法，在實驗條件下能

夠有效實現(xiàn)精密表面粗糙度測量。

 

然后表面粗糙度測量要求良好的測量環(huán)境，斑干涉原

理已經在制造環(huán)境下應用于工程表面粗糙度測量。

 

這類方法是基于統(tǒng)計和建模，不適用于表面粗糙度測

量，而對這種方法不可能獲得表面粗糙度輪廓以方便

于進一步表面特征和工藝分析。

 

干涉顯微打技術已經應用于表面粗糙度精密測量，橫

向剪切干涉技術是一種自參考干涉測量技術，具有良

好的抗振、抗干擾特性。